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洁净室包含步进光刻、刻蚀、清洗、掺杂和切粒机的机器

发布者:admin 发布时间:2014-12-26 9:14:02 阅读:1523

微电子行业的切粒机制造工厂(通常称为工厂;有时铸造)是一个工厂,设备等集成电路制造。
  业务运行的切粒机工厂制造的设计为目的的其他公司,比如王智立公司,被称为铸造。如果一个铸造并没有生产出自己的设计,它被称为纯粹切粒机铸造。
  晶圆厂需要许多昂贵的设备功能。估计的成本建立一个新的工厂在十亿美元值高达3 - 4美元不罕见。台积电投资93亿美元在其在台湾Fab15 300毫米晶圆制造厂。
  中央工厂的一部分是洁净室,一个领域环境控制消除所有的尘埃,因为即使是一个斑点可以毁掉一个微电路,具有功能比灰尘小得多。洁净室必须抑制振动和保持的汇率在狭窄区间内的温度和湿度。控制温度和湿度对减少静电至关重要。
  洁净室包含步进光刻、刻蚀、清洗、掺杂和切粒机的机器。所有这些设备都是非常精确的,因此非常昂贵。最常见的设备价格300 mm晶圆加工的范围从700000美元到4000000美元以上的每一个都有几件设备达到高达50000000美元(如步进)。一个典型的工厂将有几百设备项目。
 
 

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